微細構造観察装置(SEM)利用者各位
微細構造観察装置(SEM)の利用に関するお願い
先日、微細構造観察装置(SEM)について、反射電子検出器へ物体が干渉した形跡を確認しました。
反射電子検出器の故障は見られませんでしたが、もし故障した場合、高額な修繕費用が必要となります。
また、最悪の場合、装置が利用できなくなる可能性もございます。
微細構造観察装置をご利用いただく際は、資料図2に示すWDを必ず8mm以上確保し、装置内部と試料の干渉が無いようご注意ください。
なお、WDの確保については、手順書にも記載しております。
また、装置横にも以下の資料を置いてありますので、利用いただく際は必ず事前にご一読ください。
ご協力のほど、どうぞよろしくお願いいたします。
