| 研究分野 | エネルギー制御?省エネ技術開発 |
|---|---|
| 機器番号 | 24 |
| 設備名 | 非接触輪郭形状測定機 |
| 規格 | 三鷹光器(株) MLP-2 |
| 用途 | 非接触式のレーザプローブを用い、被測定物の形状?寸法を評価する。 レーザ光のスポットは直径1μm(対物レンズ100倍時)と非常に小さく、これをプローブとして表面を探り、幅、高さ、直径等の寸法測定を自動で行う。 被測定物に傷をつけることなく、数μm程度の凹凸を高精度に測定することが可能。用途例は、機械加工された製品の寸法精度評価?不良の発見、加工工具(砥石、砥粒、バイト、パンチ、エンドミル、ドリルなど)の形状測定?摩耗測定、あらさ測定、真円度測定など。 |
| 仕様?特徴 | ?測定方式:ステージ走査型レーザプローブ方式、ポイントオートフォーカス ?測定範囲:φ80mm以下 ?分解能:軸方向0.01μm、周方向0.1μm ?被測定物の材料:金属、樹脂、ガラス、セラミック、液体など |
| 設置場所 | ポストLEDフォトニクス研究所 |
| 連絡先 | こちらの表をご確認ください。 ■新?機器設置場所、連絡先一覧 |
